中央超純水供應(yīng)系統(tǒng)采用集中制備,分質(zhì)供水。所謂中央集中制水、分質(zhì)供水,就是用一套水處理系統(tǒng)對(duì)自來水進(jìn)行深度處理,使其達(dá)到各科室可直接使用的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),再分別用管網(wǎng)供給各科室使用。工藝流程采用為雙套設(shè)計(jì);任一套故障或檢修時(shí),另一套能確保正常制水;控制系統(tǒng)為自動(dòng)和手動(dòng)各一套,正常運(yùn)作時(shí)為全自動(dòng)控制,可無人值守運(yùn)走,自動(dòng)控制故障時(shí),手動(dòng)控制可保證設(shè)備運(yùn)作,確保正常供水。
系統(tǒng)特點(diǎn)說明:
1、顯示控制器、動(dòng)畫式流程圖,實(shí)時(shí)顯示并監(jiān)控各水處理單元工藝運(yùn)行狀態(tài);
2、運(yùn)行狀態(tài)及參數(shù)在線顯示:流量在線顯示、壓力在線顯示、源水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)在線監(jiān)測及數(shù)字顯示等,實(shí)時(shí)了解設(shè)備運(yùn)行情況,方便對(duì)系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控和分析;
3、所有水箱液位全自動(dòng)控制:中間水箱、純水箱、水箱之間的設(shè)備連接不僅實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng),同時(shí)保護(hù)每臺(tái)泵不至空轉(zhuǎn)而損壞;
4、產(chǎn)品水質(zhì)在線監(jiān)測與不合格水循環(huán)處理:為保證用水點(diǎn)水質(zhì)符合要求,主機(jī)產(chǎn)水水質(zhì)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測,并設(shè)有水質(zhì)反饋裝置,不合格水質(zhì)循環(huán)再處理;
5、具備自動(dòng)沖洗管網(wǎng)功能,定期對(duì)管路進(jìn)行清洗,以保持管道內(nèi)部潔凈,管路沖洗時(shí),可直接排放,也可回流到制水設(shè)備主機(jī)重新利用,以節(jié)約水源;
中央超純水供應(yīng)系統(tǒng)總體來說一般可分為三個(gè)部分:
超純水制造區(qū)(CUB部分);
超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分);
超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。
其中超純水制造區(qū)最為復(fù)雜其又可分為:預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。
預(yù)處理部分主要包括:沙濾、活性炭塔(有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池);
一次純水部分主要包括:陰陽離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級(jí)反滲透;
超純水部分主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過濾器。
但是由于考慮到在向工藝線設(shè)備輸送高純水過程中,輸水管道會(huì)對(duì)水質(zhì)再次造成污染,因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心,再加上超濾設(shè)備(UF),以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中,管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。